专利名称：气体供应装置及方法专利类型：发明专利
发明人：李乾铭,陈俊吉,林世杰申请号：CN201710063581.7申请日：20170203公开号：CN108385071A公开日：20180810
摘要：一种气体供应装置，包含一气体供应头、一第一盘体、一第二盘体以及一旋转致动器。第一盘体具有至少一开口。第一盘体的开口与第二盘体在气体供应头上的投影是重叠的。第二盘体包含多个扇形区域。该些扇形区域是沿着该第二盘体的角向方向排列的，该些扇形区域内的气孔分布不同。旋转致动器用以驱动第一盘体、第二盘体或其组合，使得第一盘体与第二盘体在角向方向上相对旋转。
申请人：积体电路制造股份有限公司
地址：中国新竹市新竹科学工业园区力行六路八号
国籍：TW
代理机构：北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人：徐金国
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