专利名称：一种单晶炉埚转主轴专利类型：实用新型专利发明人：郜勇军,郑裕财,夏安阳申请号：CN201020138680.0申请日：20100323公开号：CN201665728U公开日：20101208
摘要：本实用新型涉及一种单晶炉埚转主轴，该单晶炉埚转主轴的轴套通过上、下轴承套在主轴上，在上轴承与轴套的外壳之间设置还有密封保护装置。采用本实用新型，由于具有密封保护装置，杂质不会进入轴承，磨损小，能提高转主轴的使用寿命，且工作稳定。
申请人：浙江矽盛电子有限公司
地址：324300 浙江省开化县工业园区园三路1号
国籍：CN
代理机构：杭州天正专利事务所有限公司
代理人：舒良
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