专利名称：晶圆输送装置专利类型：实用新型专利发明人：王燚,刘亿军
申请号：CN201520527507.2申请日：20150720公开号：CN204927255U公开日：20151230
摘要：晶圆输送装置，包括无尘气缸，直线滑轨，传片桨和晶圆存放托盘。传片桨的一端与无尘气缸连接，晶圆存放托盘放置在传片桨的另一端。传片桨在直线滑轨上滑动。通过采用此晶圆输送机构，在整个沉积应用过程中，可以很好的实现晶圆在反应腔室内的自动取放，减轻操作人员的劳动强度，操作便捷，节约时间，大大降低高温对操作人员的危险因素。
申请人：沈阳拓荆科技有限公司
地址：110179 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1-1号三层
国籍：CN
代理机构：沈阳维特专利商标事务所(普通合伙)
代理人：李绪岩
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